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雷射掃描共焦量測開發平台

SP8000A是光學量測方案的開發平台，內建光學顯微鏡，使用雷射掃描式共焦技術。本平台可依據產品量測需求，自行加載多種光學配件及模組，以進行多樣化的研究及量測，進而提高研發設備的彈性，降低研發階段的機台購置成本，並縮短研發時間。

PRODUCT DESCRIPTION

產品介紹

PRODUCT DESCRIPTION

不僅是單一功能儀器，更具備多樣性及變化性的量測功能

傳統共焦顯微技術分為單點式（傳統材料分析）及掃描式（生醫影像）的量測，SP8000A同時具備兩種功能，可透過模組擴充開啟其它功能，如表面形貌檢查功能與光譜量測功能，在不同模組的搭配下，可衍生出更多意想不到的量測功能。

FEATURES

FEATURES

專利光學無損量測*

使用雷射共焦技術，解析度可達0.1μm

高感度光致螢光（PL）/拉曼（Raman）光譜量測

快速光致螢光（PL）影像生成

3D影像造影功能

光點移動式Mapping功能

依量測需求自行選配量測套件

表面形貌量測功能

高度整合性的操作軟體，無縫接合主流光譜儀（Horiba/Andor/Ocean）及多家精密電源量測設備（SMU）（Keithley/Keysight）

內建基本尺寸量測功能，可量測長度、角度、圓徑等

*備註

專利證書號：TW I661222 B

ADVANTAGES

ADVANTAGES

掃描式雷射共焦技術：

專利無損式量測*，透過控制激發光點微區快速振動來進行量測，可降低樣品因熱累積所產生之破壞

功能彈性配置，同時具備單點式與掃描式量測，可支援多樣化開發應用，如光譜學、螢光影像、表面形貌量測等

多光源切換，最多可以支援四支雷射

程控功能及模組切換，程式定義平台功能，讓操作體驗更簡化、更順暢

可選配偏光檢測模組

可選配205mm x 205mm大尺寸電控平台

操作軟體可支援Horiba/Andor/Ocean光譜儀以及Keithley/Keysight SMU

*備註:

專利證書號：TW I661222 B

FUNCTION DESCRIPTION

FUNCTION DESCRIPTION

PRODUCT SPECIFICATIONS

PRODUCT SPECIFICATIONS

品項		內容
量測技術		掃描式雷射共焦顯微術
雷射波長		最多可使用4波段光源（可選擇 405nm，532nm，633nm，785nm）
輸入/輸出通道		單一雷射輸入接口（Free Space）光訊號輸出經由光纖（FC / PC；SMA）
物鏡		5X FOV 2mm x 2mm 10X FOV 1mm x 1mm 20X FOV 500μm x 500μm 50X FOV 200μm x 200μm
內建白光影像系統		科氏同軸光照明：可調式白光LED （可選配紅外光源） 1吋彩色300萬像素 CMOS 相機
電控Z軸對焦模組		移動行程：30mm 解析度（Typical）：0.02μm 重覆精度：0.1μm 二相位步進馬達高精度控制遙桿
X/Y移動平台	手動平台	移動行程：100mm x 100mm 解析度：1μm
X/Y移動平台	電動平台（選配）	移動行程：205mm x 205mm（8"）解析度：1nm 重覆精度：0.025μm 移動速度：90mm/s 二相位步進馬達
偵測器		Biakali 光電倍增管，反應波段：185nm - 750nm
資料處理中心		OS：Windows 11 傳輸介面 USB 3.0 獨立顯卡儲存空間 > 1T 24吋液晶螢幕
重量		80 KG
尺寸		整機：長 755mm x 寬 560mm x 高 629mm 開蓋後：長 901mm x 寬 560mm x 高 957mm
電器規格		110/220V 50/60Hz AC，150W