鎵離子FIB-SEM
TESCAN SOLARIS 2專為使用AI人工智慧驅動的TESCAN TEM AutoPrep™ Pro軟體進行全自動TEM樣品製備而設計，該系統可為10 nm以下技術節點（例如：先進邏輯、儲存裝置等）生產高品質、超薄樣品。
PRODUCT DESCRIPTION
產品介紹
PRODUCT DESCRIPTION
TESCAN SOLARIS 2是一款全自動鎵離子FIB-SEM，專為高精度TEM樣品製備而設計，搭載AI人工智慧驅動的TEM AutoTEM Pro™軟體。SOLARIS 2適用於故障分析、研發和品質控制等應用，可無縫整合先進的SEM和FIB校準，確保系統的一致就緒性並縮短獲取資料的時間。
SOLARIS 2系統能出色的處理各類電子元件，包括最新的邏輯、記憶體、電源和顯示技術，為嚴苛的樣品製備需求提供穩定可靠的性能。
FEATURES
產品特色
FEATURES
快速、精準的TEM樣品
使用TESCAN TEM AutoPrep™ Pro，可在一小時內製作出10奈米以下的超薄TEM樣品，從取出到最後的FIB拋光皆為全自動操作，每次都能提供始終如一的卓越效果。
先進設備的精確定位
使用AI人工智慧驅動的基準點標記識別和Triglav™ SEM鏡筒的高解析度成像，精準瞄準GAA或FinFET元件中的單晶體管線，並配備先進的SE和BSE偵測器，增強光束重合點的對比度。
使用OptiLift™進行適應性薄片製備
使用OptiLift™奈米操縱器輕鬆製備自上而下、平面和倒置的薄片，這種創新設計無需額外的翻轉設備，從而簡化工作流程。
隨時待命，精確對位
自動電子鏡筒和離子鏡筒校準系統可在夜間運作，讓系統保持就緒狀態，確保最少的設定和最長的正常運作時間。
卓越的高解析度成像
Triglav™ SEM掃描電鏡鏡筒專為超高解析度成像而設計，可提供出色的表面靈敏度和對比度，使其成為光束敏感材料的理想選擇。
有效優化工作效率
重新設計的TESCAN TEM AutoPrep™ Pro可為任何TEM樣品工作流程提供直覺式的流程導航和廣泛的自訂功能，從而提高每個使用者的工作效率。
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