高精度多功能量測設備
祐銓科技MFM-3500系列高精度多功能量測儀提供簡易操作及全自動量測，適用無塵室環境，光學檢測支援高速無接觸量測和多層膜厚度分析。
ADVANTAGES
產品優勢
ADVANTAGES
操作流程簡易，降低教育訓練成本
人工放置待測物，機台自動化跑位、量測與報表輸出
多孔陶瓷吸盤完整吸附待測物
花崗岩底座搭配氣浮式防震桌，有效隔離高頻振動，將機身振動影響降至最低
高精度移動馬達
針對無塵室環境設計的防塵外罩
連線管理SECS/GEM（選配）
FUNCTION DESCRIPTION
功能說明
FUNCTION DESCRIPTION
【光學檢測】
高速/無接觸光學量測
非透明材質/透明材質形貌分析
多層膜厚度量測
| 解析能力=0.1μm |
1. 排除線性厚度誤差20±1C，重複性< ±0.5μm 2. 當環境控制（振動）良好時，其粗糙度Rz<0.1μm，重複性將±0.3μ 3. 以上重複性為1σ |
| 精度 |
1. 單層厚度精度 2. 包含線性厚度誤差單層厚度 >50μm ： < ± 0.01 x 測量結果 3. 單層厚度 ≦ 50μm ： ± 0.5μm 4. 以上重複性 = 1σ (± 0.5μm) |
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