採用精適型設計，走道寬度需求僅為110 - 130公分
FEATURES
產品特色
FEATURES
機器人背後的儲位設計，可調整以符合光罩盒／SMIF／FOUP／Open Cassette／Magazines 等搬運需求
可於同一次任務中，同時完成卸載加工完成的晶圓盒並放上新的晶圓盒，大幅節省搬運走動的次數
具備眾多安全感測機制，確保晶圓盒搬運過程的安全
針對較小的空間走道進行專用化設計，走道寬度達100公分以上即可使用
專用Magazine貨架設計，具備6組Magazine承載能力，可用於Wire Bond製程
PRODUCT SPECIFICATIONS
產品規格
PRODUCT SPECIFICATIONS
| 型號 | iO-5 | iO-10 |
|---|---|---|
| 手臂載重 |
5 kg
|
10 kg
|
| 尺寸 |
L 727 x W 570 x H 1555 mm
|
L 697 x W 698 x H 1896 mm
|
| 走道寬度 |
1,100 mm以上
|
1,300 mm以上 |
| 電源規格 |
Battery: 22 - 29 VDC LiFeP04
Run Time: 240 - 260 min (Continuous)
Charge Time: 40 - 60 min
|
|
| 行走速度 | 600 - 1,000 mm/s | |
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