PRODUCT DESCRIPTION
產品介紹
PRODUCT DESCRIPTION
PHEMOS-X是一款高解析度的微光顯微鏡，透過偵測半導體元件缺陷所造成的微弱光發射和熱發射來精確定位故障位置。
由於PHEMOS-X可與通用針測機結合使用，因此可以使用已經熟悉的樣品設定來執行各種分析任務，安裝可選的雷射掃描系統可獲得高解析度的圖像，不同類型的檢測器可用於各種分析技術，例如發射分析、熱分析和IR-OBIRCH分析。PHEMOS-X支援從針測機插座板到大尺寸300 mm晶圓針測機的多種任務和應用。
FEATURES
產品特色
FEATURES
可選配兩個超高靈敏度相機 (覆蓋範圍包括不同探測波長範圍的微光分析和熱分析，或可見光和近紅外光，允許輕鬆選擇與樣品和故障模式匹配的分析技術)
OBIRCH有多達五種雷射源可供選擇，且相容動態分析技術
單一模組適用多種光源 (1.3µm, 1.1µm, 532nm)，支援多種分析
| 光學平台工作範圍 | |
|---|---|
| X：± 20mm |
*由於所使用的探針及樣品台或NanoLens的安裝可能會干擾， 工作範圍可能比這些值更小。 |
| Y：± 20mm | |
| Z：± 80mm | |
ADVANTAGES
產品優勢
ADVANTAGES
缺陷快速定位
節省分析時間
為半導體晶片故障分析應用量身定製
半導體業內專業級電性定位設備
FUNCTION DESCRIPTION
功能說明
FUNCTION DESCRIPTION
【功能特性】
| 功能 | 特性 |
|---|---|
| OBIRCH |
|
| EMMI相機 |
|
| 電流檢測頭 |
|
【透鏡選項】
- 電動鏡頭轉盤可以搭載5個物鏡
- 有3種微距鏡頭可供選擇，系統上只能安裝一個微距鏡頭
- Objective lens
| Product Name | Product No. | N.A. |
WD (mm) |
Analysis |
|---|---|---|---|---|
| Objective lens 1x for OBIRCH | A7649-01 | 0.03 | 20 | OBIRCH |
| Objective lens 2x IR coat | A8009 | 0.055 | 34 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens NIR 5x | A11315-01 | 0.14 | 37.5 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens NIR 20x | A11315-03 | 0.4 | 20 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens PEIR Plan Apo 20x 2000 | A11315-21 | 0.6 | 10 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens PEIR Plan Apo 50x 2000 | A11315-22 | 0.7 | 10 | Emission / OBIRCH |
| High NA objective lens 50x for IR-OBIRCH | A8018 | 0.76 | 12 | OBIRCH |
| Objective lens NIR 100x | A11315-05 | 0.5 | 12 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens MWIR 0.8x | A10159-02 | 0.13 | 22 | Thermal emission |
| Objective lens MWIR 4x | A10159-03 | 0.52 | 25 | Thermal emission |
| Objective lens MWIR 8x | A10159-06 | 0.75 | 15 | Thermal emission |
-
Macro lens
| Product Name | Product No. | N.A. |
WD (mm) |
Analysis |
|---|---|---|---|---|
| Macro lens 1.35x for PHEMOS-X | A7909-16 | 0.4 | 25 | Emission / OBIRCH |
| Macro lens 0.24x for InSb camera | A10159-08 | 0.08 | 27 | Thermal emission |
| Macro lens 1x for InSb camera | A10159-10 | 0.33 | 52 | Thermal emission |
PRODUCT SPECIFICATIONS
產品規格
PRODUCT SPECIFICATIONS
| PHEMOS-X | |||
|---|---|---|---|
| Dimensions / Weights | Main Unit |
1656 mm (W) × 2000 mm (H) × 1247 mm (D) Approx. 1640 kg |
|
| Operation Desk*1 |
1000 mm (W) × 700 mm (H) × 800 mm (D) Approx. 39.2 kg |
||
|
1480 mm (W) × 700 mm (H) × 800 mm (D) Approx. 48.6 kg |
|||
| Line Voltage | Single phase 200 V to 240 V | ||
| Power Consumption | Approx. 3300 VA | ||
| Vacuum | 80 kPa or more | ||
| Compressed Air*2 | 0.6 MPa to 0.7 MPa | ||
*1: Option
*2: Including a regulator
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