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激光扫描共焦量测开发平台

SP8000A是光学量测方案的开发平台，内建光学显微镜，使用激光扫描式共焦技术。本平台可依据产品量测需求，自行加载多种光学配件及模块，以进行多样化的研究及量测，进而提高研发设备的弹性，降低研发阶段的机台购置成本，并缩短研发时间。

PRODUCT DESCRIPTION

产品介绍

PRODUCT DESCRIPTION

不仅是单一功能仪器，更具备多样性及变化性的量测功能

传统共焦显微技术分为单点式（传统材料分析）及扫描式（生物医学图像）的量测，SP8000A同时具备两种功能，可通过模块扩充开启其它功能，如表面形貌检查功能与光谱量测功能，在不同模块的搭配下，可衍生出更多意想不到的量测功能。

FEATURES

FEATURES

专利光学无损量测*

使用激光共焦技术，分辨率可达0.1µm

高感度光致发光（PL）/拉曼（Raman）光谱量测

快速光致发光（PL）图像生成

三维（3D）成像功能

光点移动式Mapping功能

依量测需求自行选配量测套件

表面形貌量测功能

高度整合性的操作软件，无缝接合主流光谱仪（Horiba/Andor/Ocean）及多家源测量单元（SMU）（Keithley/Keysight）

内建基本尺寸量测功能，可量测长度、角度、圆径等

*备注

专利证书号：TW I661222 B

ADVANTAGES

ADVANTAGES

扫描式激光共焦技术：

专利无损式量测*，通过控制激发光点微区快速振动来进行量测，可降低样品因热累积所产生的破坏

功能弹性配置，同时具备单点式与扫描式量测，可支持多样化开发应用，如光谱学、荧光成像、表面形貌量测等

多光源切换，最多可以支援四支激光器

程序控制功能及模块切换，程序定义平台功能，让操作体验更简化、更顺畅

可选配偏光检测模块

可选配205mm x 205mm大尺寸电控平台

操作软件可支持Horiba/Andor/Ocean光谱仪以及Keithley/Keysight SMU

*备注:

专利证书号：TW I661222 B

FUNCTION DESCRIPTION

FUNCTION DESCRIPTION

拉曼（Raman）/光致发光（PL）光谱
- 珠宝鉴定
- 毒品/药物鉴识
- 环境毒物检测
- 艺术古文物鉴识/研究
- 环境检测
- 生物医学检测
- 材料鉴识
- 半导体研究
- MicroLED量测
- 微塑料
- 二维材料
光致发光（PL）/Reflection Image
- 表面形貌检测
- MicroLED检测
- 单分子图像
- 生物医学图像
- 材料表面分布分析
- SiC/GaN 检测

PRODUCT SPECIFICATIONS

PRODUCT SPECIFICATIONS

品项		內容
量测技术		扫描式激光共焦显微术
激光波长		最多可使用4波段光源（可选择 405nm，532nm，633nm，785nm）
输入/输出通道		单一激光输入接口（Free Space）光信号输出经由光纤（FC / PC；SMA）
物镜		5X FOV 2mm x 2mm 10X FOV 1mm x 1mm 20X FOV 500μm x 500μm 50X FOV 200μm x 200μm
内建白光影像系统		科氏同轴光照明：可调式白光LED （可选配红外光源） 1寸彩色300万像素 CMOS 相机
电控Z轴对焦模块		移动行程：30mm 分辨率（Typical）：0.02µm 重复精度：0.1µm 二相位步进马达高精度控制杆
X/Y移动平台	手动平台	移动行程：100mm x 100mm 分辨率：1µm
X/Y移动平台	电动平台（选配）	移动行程：205mm x 205mm（8"）分辨率：1nm 重复精度：0.025µm 移动速度：90mm/s 二相位步进马达
侦测器		Biakali 光电倍增管，反应波段：185nm - 750nm
数据处理中心		OS：Windows 11 传输接口 USB 3.0 独立显卡存储容量 > 1T 24寸液晶显示屏
重量		80 KG
尺寸		整机：长 755mm x 宽 560mm x 高 629mm 开盖后：长 901mm x 宽 560mm x 高 957mm
电器规格		110/220V 50/60Hz AC，150W