镓离子FIB-SEM
TESCAN SOLARIS 2专为使用AI人工智能驱动的TESCAN TEM AutoPrep™ Pro软件进行全自动TEM样品制备而设计，该系统可为10 nm以下技术节点（例如：先进逻辑、存储装置等）生产高品质、超薄样品。
PRODUCT DESCRIPTION
产品介绍
PRODUCT DESCRIPTION
TESCAN SOLARIS 2是一款全自动镓离子FIB-SEM，专为高精度TEM薄片制备而设计，配备AI人工智能驱动的TEM AutoTEM Pro™软件。SOLARIS 2适用于失效分析、研发和质量控制等应用，可无缝集成先进的SEM和FIB对准，确保系统始终处于就绪状态并缩短获得数据的时间。
SOLARIS 2系统能出色的处理各种电子器件，包括最新的逻辑、存储器、电源和显示技术，为严苛的样品制备需求提供稳定可靠的性能。
FEATURES
产品特色
FEATURES
快速、精确的TEM样品
使用TESCAN TEM AutoPrep™ Pro，可在一小时内制作出10纳米以下的超薄TEM样品，从取出到最后的FIB抛光均为全自动操作，每次都能提供始终如一的卓越效果。
先进设备的精确定位
利用AI人工智能驱动的基准点标记识别和Triglav™ SEM镜筒的高分辨率成像，精确瞄准GAA或FinFET器件中的单晶体管线，并配备先进的SE和BSE探测器，增强光束重合点的对比度。
使用OptiLift™进行自适应薄片制备
使用OptiLift™纳米机械手轻松制备自上而下、平面和倒置的薄片，这种创新设计无需额外的翻转设备，从而简化工作流程。
时刻待命，精确校准
自动电子镜筒和离子镜筒校准系统可在夜间运行，使系统保持就绪状态，确保最少的设置和最长的正常运行时间。
卓越的高分辨率成像
Triglav™ SEM扫描电镜镜筒专为超高分辨率成像而设计，可提供卓越的表面灵敏度和对比度，是光束敏感材料的理想选择。
有效优化工作效率
重新设计的TESCAN TEM AutoPrep™ Pro可为任何TEM样品工作流程提供直观的流程导航和广泛的自定义功能，从而提高每位用户的工作效率。
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