射频等离子清洗设备

宝丰堂射频等离子清洗设备Prosumer Virgo系列,专为微电子表面清洁与改性设计,有利于改善引线键合和芯片键合结合力、倒装芯片填充不足等封装工艺,可用于处理各种电子材料,包括塑料、金属或者玻璃等。
ADVANTAGES

产品优势

ADVANTAGES
提供在线式等离子解决方案,适用于高度自动化生产线
13.56MHz射频电源搭配自动阻抗匹配器
特殊不锈钢腔体及电极,生产过程中无粉尘产生
FUNCTION DESCRIPTION

功能说明

FUNCTION DESCRIPTION
【产品应用】

 

去除有机污染物
去除氟和其他卤素污染
去除金属和金属氧化物
改善旋涂膜附着力
清洁金属接合焊盘
芯片凸点之前清除污染

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