ADVANTAGES
产品优势
ADVANTAGES
操作流程简易，降低教育训练成本
人工放置待测物，机台自动化跑位、量测与报表输出
多孔陶瓷吸盘完整吸附待测物
花岗岩底座搭配气浮式防震桌，有效隔离高频振动，将机身振动影响降至最低
高精度移动马达
针对无尘室环境设计的防尘外罩
连线管理SECS/GEM（选配）
FUNCTION DESCRIPTION
功能说明
FUNCTION DESCRIPTION
【光学检测】
高速/无接触光学量测
非透明材质/透明材质形貌分析
多层膜厚度量测
| 解析能力=0.1μm |
1. 排除线性厚度误差20±1C，重复性< ±0.5μm 2. 当环境控制（振动）良好时，其粗糙度Rz<0.1μm，重复性将±0.3μ 3. 以上重复性为1σ |
| 精度 |
1. 单层厚度精度 2. 包含线性厚度误差单层厚度 >50μm ： < ± 0.01 x 测量结果 3. 单层厚度 ≦ 50μm ： ± 0.5μm 4. 以上重复性 = 1σ (± 0.5μm) |
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