采用精适型设计，走道宽度需求仅为110 - 130公分
FEATURES
产品特色
FEATURES
机器人背后的储位设计，可调整以符合光罩盒／SMIF／FOUP／Open Cassette／Magazines 等搬运需求
可于同一次任务中，同时完成卸载加工完成的晶圆盒并放上新的晶圆盒，大幅节省搬运走动的次数
具备众多安全感测机制，确保晶圆盒搬运过程的安全
针对较小的空间走道进行专用化设计，走道宽度达100公分以上即可使用
专用Magazine货架设计，具备6组Magazine承载能力，可用于Wire Bond制程
PRODUCT SPECIFICATIONS
产品规格
PRODUCT SPECIFICATIONS
| 型号 | iO-5 | iO-10 |
|---|---|---|
| 手臂载重 |
5 kg
|
10 kg
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| 尺寸 |
L 727 x W 570 x H 1555 mm
|
L 697 x W 698 x H 1896 mm
|
| 走道宽度 |
1,100 mm以上
|
1,300 mm以上 |
| 电源规格 |
Battery: 22 - 29 VDC LiFeP04
Run Time: 240 - 260 min (Continuous)
Charge Time: 40 - 60 min
|
|
| 行走速度 | 600 - 1,000 mm/s | |
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