FEATURES
产品特色
FEATURES
6500万高图元彩色相机，具大视野(FOV)与高辨识率检出能力
使用RGB特殊运算处理彩色数据，增强缺陷特征检出
10μm缺陷(Defects)检测项目：晶圆表面异物(Particles)、划痕(Scratches)、Pad异常、Bump异常
全自动晶圆级测试载台，高达±1.7μm精度进行高准度晶圆坐标定位
智慧化分区参数设定，实现不同区域之精确检测要求
FUNCTION DESCRIPTION
功能说明
FUNCTION DESCRIPTION
【检验流程】
【缺陷检测应用】
PRODUCT SPECIFICATIONS
产品规格
PRODUCT SPECIFICATIONS
| MA6500 检测规格 | ||
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| 功能 |
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| 适用晶圆 |
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| 晶圆装卸 |
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| 载台(Chuck) |
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| 光学规格 |
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| 影像自动检测能力 |
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| 软件项目 |
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| 检测时间 |
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| 选项(Optional) |
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