微机电晶圆级测试系统(KRONOS)

AEM AFORE KRONOS惯性传感器晶圆探针系统为适用于陀螺仪和加速度计精确测试和校准的专业探针台,KRONOS的坚固结构可以在任何方向或旋转过程中以高精度的定位进行探测、测试和移动。
PRODUCT DESCRIPTION

产品介绍

PRODUCT DESCRIPTION
AEM AFORE提供专为微机电(MEMS)设计的全面测试产品,包括晶圆探针测试、多种激励方式和封装选项的测试机以及三温测试。与传统的Pick & Place方式不同,KRONOS使用Ring Frame进行测试,可以避免器件损伤并提高生产效率。AEM AFORE的解决方案使客户能够在芯片级封装(CSP)的先进封装制程中进行晶圆级的最终测试,简化生产制造流程,并将测试成本降到最低。
FEATURES

产品特色

FEATURES
可处理晶圆尺寸高达200mm
具有极高的多站点测试能力
自动化操作系统,可使晶圆或框架从晶圆盒移动到探针测试区进行测试,完成测试后再装载回晶圆盒
可选配的温度吸盘系统及对应探针配件
FUNCTION DESCRIPTION

功能说明

FUNCTION DESCRIPTION
AEM AFORE KRONOS惯性传感器晶圆探针系统可应用于以下产品最终测试和校正:
加速度计
磁力计
陀螺仪
电子指南针

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