PRODUCT DESCRIPTION
产品介绍
PRODUCT DESCRIPTION
PHEMOS-X是一款高分辨率的微光显微镜，透过侦测半导体器件缺陷所造成的微弱光发射和热发射来精确定位失效位置。
由于PHEMOS-X可与通用探针台结合使用，因此可以使用已经熟悉的样品设定来执行各种分析任务，安装可选的激光扫描系统可获得高分辨率的图像，不同类型的检测器可用于各种分析技术，例如发射分析、热分析和IR-OBIRCH分析。PHEMOS-X支持从探针台插座板到大尺寸300 mm晶圆探针台的多种任务和应用。
FEATURES
产品特色
FEATURES
可选配两个超高灵敏度相机（覆盖范围包括不同探测波长范围的微光分析和热分析，或可见光和近红外光，允许轻松选择与样品和失效模式匹配的分析技术）
OBIRCH有多达五种激光源可供选择，且兼容动态分析技术
单一模块适用多种光源（1.3µm, 1.1µm, 532nm），支持多种分析
| 光学平台工作范围 | |
|---|---|
| X：± 20mm |
*由于所使用的探针及样品台或NanoLens的安装可能会干扰， 工作范围可能比这些值更小。 |
| Y：± 20mm | |
| Z：± 80mm | |
ADVANTAGES
产品优势
ADVANTAGES
缺陷快速定位
节省分析时间
为半导体芯片失效分析应用量身定制
半导体业内专业级电性定位设备
FUNCTION DESCRIPTION
功能说明
FUNCTION DESCRIPTION
【功能特性】
| 功能 | 特性 |
|---|---|
| OBIRCH |
|
| EMMI相机 |
|
| 电流检测头 |
|
【透镜选项】
- 电动镜头转盘可以搭载5个物镜
- 有3种微距镜头可供选择，系统上只能安装一个微距镜头
- Objective lens
| Product Name | Product No. | N.A. |
WD (mm) |
Analysis |
|---|---|---|---|---|
| Objective lens 1x for OBIRCH | A7649-01 | 0.03 | 20 | OBIRCH |
| Objective lens 2x IR coat | A8009 | 0.055 | 34 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens NIR 5x | A11315-01 | 0.14 | 37.5 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens NIR 20x | A11315-03 | 0.4 | 20 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens PEIR Plan Apo 20x 2000 | A11315-21 | 0.6 | 10 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens PEIR Plan Apo 50x 2000 | A11315-22 | 0.7 | 10 | Emission / OBIRCH |
| High NA objective lens 50x for IR-OBIRCH | A8018 | 0.76 | 12 | OBIRCH |
| Objective lens NIR 100x | A11315-05 | 0.5 | 12 | Emission / OBIRCH |
| Objective lens MWIR 0.8x | A10159-02 | 0.13 | 22 | Thermal emission |
| Objective lens MWIR 4x | A10159-03 | 0.52 | 25 | Thermal emission |
| Objective lens MWIR 8x | A10159-06 | 0.75 | 15 | Thermal emission |
-
Macro lens
| Product Name | Product No. | N.A. |
WD (mm) |
Analysis |
|---|---|---|---|---|
| Macro lens 1.35x for PHEMOS-X | A7909-16 | 0.4 | 25 | Emission / OBIRCH |
| Macro lens 0.24x for InSb camera | A10159-08 | 0.08 | 27 | Thermal emission |
| Macro lens 1x for InSb camera | A10159-10 | 0.33 | 52 | Thermal emission |
PRODUCT SPECIFICATIONS
产品规格
PRODUCT SPECIFICATIONS
| PHEMOS-X | |||
|---|---|---|---|
| Dimensions / Weights | Main Unit |
1656 mm (W) × 2000 mm (H) × 1247 mm (D) Approx. 1640 kg |
|
| Operation Desk*1 |
1000 mm (W) × 700 mm (H) × 800 mm (D) Approx. 39.2 kg |
||
|
1480 mm (W) × 700 mm (H) × 800 mm (D) Approx. 48.6 kg |
|||
| Line Voltage | Single phase 200 V to 240 V | ||
| Power Consumption | Approx. 3300 VA | ||
| Vacuum | 80 kPa or more | ||
| Compressed Air*2 | 0.6 MPa to 0.7 MPa | ||
*1: Option
*2: Including a regulator
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