PRODUCT DESCRIPTION
产品介绍
PRODUCT DESCRIPTION
ERS WAT300在全自动操作中处理多达4个FOUP，它配备的Wafer-ID读取器和自动翘曲检测站，可以通过3种独立的操作模式实现高度的灵活性。它可以严格用作翘曲测量站、翘曲调整站，或是翘曲测量/调整/监控站。
全新升级的WAT330配备HEPA过滤系统，洁净室等级100，同时也符合SEMI GEM300标准，并配有全自动产品装卸。另一个值得注意的升级是设备的氮气环境，含氧量低至0.5%，以避免铜的氧化。此外，还搭载强真空温度卡盘，以实现零故障处理晶圆。
FUNCTION DESCRIPTION
功能说明
FUNCTION DESCRIPTION
【设施供给】
| 设施项目 | 规格 |
|---|---|
| Voltage | 400 VAC 3-phase 32A |
| Frequency | 50/60 Hz |
| Power | 18 kW |
| CDA Pressure | 6 bar at 0°C dew point |
| CDA Flow Rate | 1000 l/min peak |
| Vacuum Pressure | 100 mbar |
| Vacuum Flow Rate | 100 l/min |
PRODUCT SPECIFICATIONS
产品规格
PRODUCT SPECIFICATIONS
| WAT 规格 | |
|---|---|
| Wafer Size | 200 mm or 300/330 mm |
| Handling System | One 4-Axis Robot; special end-effector |
| Maximum Input Warpage | ± 7 mm |
| Warpage Adjust Method | ERS TriTemp Slide |
| Typical Output Warpage | < 500 µm |
| Temperature Control | DC PID and ERS AirCool® components |
| Temperature Range | -10°C up to +260°C (depending on station) |
| Oxygen Free Environment | Optional |
| W x D x H | 2273 x 1134 x 1741 mm |
| Weight | 1800 kg |
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